반응형 Etching1 [반공공] Etching (식각 공정) 안녕하세요. 오늘은 포토, 증착과 함께 반도체 제조 메인 공정 중 하나로 꼽히는 Etching, 식각 공정에 대해 공부해보고자 합니다.식각의 종류 중 advanced 기술인 ALE에 대해서는 아래 첨부해둔 지난 포스팅에서 확인해볼 수 있습니다.[반심공] ALE_Atomic Layer Etching(원자층 식각 공정) [반심공] ALE_Atomic Layer Etching(원자층 식각 공정)안녕하세요. 지난 반심공 포스트에서는 ALD와 ASD 기술에 대해 배워보았습니다. 이번 시간에는 원자층 식각, ALE에 대해 배워 보겠습니다. ALE를 이해할 때는 ALD에 대한 이해가 수반되면 조금 더 용semiconprocess.tistory.com[반심공] ALD+ALE 기술을 통한 핀홀 해결 +박막 생성 메커니즘.. 2025. 9. 22. 이전 1 다음 반응형
