반응형 WetCleaning1 [반공공] Cleaning 1. 지난 게시물에서 반도체 공정 일부를 대략적으로 알아보았습니다. 오늘부터는 하나하나 세부적으로 함께 공부해보겠습니다.가장 먼저 알아볼 내용은 세정공정, 혹은 Cleaning 공정입니다. Cleaning 공정은 8대공정의 한 자리에 들어가있지 않지만, main 공정 전/후로 시작부터 끝까지 진행하는 공정입니다.다양한 오염원들에 의해서 결함이 발생하면 Wafer를 통째로 버려야할 정도로 수율과 공정 효율성에 있어서 중요한 과정입니다.전체 fabrication 중 30~40% 비중을 차지할 정도로 자주, 또 정확히 해야하기 때문에,어찌보면 메인공정만큼 중요하다고 볼 수 있겠습니다. 이번 포스팅에서는 아래 와같은 순서 중 1.기본 용어 2. 오염원의 종류 3. Wet Cleaning(습식 세정) - RCA Cl.. 2025. 7. 25. 이전 1 다음 반응형
