반응형 cleaning2 [반공공] Cleaning 2. 이번에는 앞서 Cleaning 공정의 개요와 Wet Cleaning을 알아보았으니, Dry Cleaning과 둘을 비교한 연구자료를 살펴보겠습니다. 이전 포스팅[반공공] 반도체 8대 공정 같이 공부하기_Cleaning 공정 1 [반공공] 반도체 8대 공정 같이 공부하기_Cleaning 공정 1지난 게시물에서 반도체 공정 일부를 대략적으로 알아보았습니다. 오늘부터는 하나하나 세부적으로 함께 공부해보겠습니다.가장 먼저 알아볼 내용은 세정공정, 혹은 Cleaning 공정입니다. Cleaningsemiconprocess.tistory.com Contents기본 용어오염원의 종류Wet Cleaning(습식 세정) - RCA CleaningDry Cleaning(건식 세정)관련 논문 살펴보기 4. Dry Clean.. 2025. 7. 25. [반공공] Cleaning 1. 지난 게시물에서 반도체 공정 일부를 대략적으로 알아보았습니다. 오늘부터는 하나하나 세부적으로 함께 공부해보겠습니다.가장 먼저 알아볼 내용은 세정공정, 혹은 Cleaning 공정입니다. Cleaning 공정은 8대공정의 한 자리에 들어가있지 않지만, main 공정 전/후로 시작부터 끝까지 진행하는 공정입니다.다양한 오염원들에 의해서 결함이 발생하면 Wafer를 통째로 버려야할 정도로 수율과 공정 효율성에 있어서 중요한 과정입니다.전체 fabrication 중 30~40% 비중을 차지할 정도로 자주, 또 정확히 해야하기 때문에,어찌보면 메인공정만큼 중요하다고 볼 수 있겠습니다. 이번 포스팅에서는 아래 와같은 순서 중 1.기본 용어 2. 오염원의 종류 3. Wet Cleaning(습식 세정) - RCA Cl.. 2025. 7. 25. 이전 1 다음 반응형
