반응형 Ale5 [반심공] DRAM의 MIM 커패시터, ZAZ구조 안녕하세요. 오늘은 간만에 반도체 심화공정 공부하기 컨텐츠를 다루고자 합니다. 그중에 DRAM에서의 Capacitor를 이루는 부분에서 ALD와 ALE가 어떻게 사용되는지 공부해보겠습니다. Contents Scaling of DRAM & Capacitor structureHigh-K: ZAZ, ZAZAZ StructurePaper목차는 다음과 같습니다. 미세화되는 메모리와 커패시터의 구조를 함께 살펴보고, 절연체로서 ZAZ와 ZAZAZ 구조가 무엇인지 공부해본 뒤, 이번 포스팅의 레퍼런스가 된 논문의 내용을 소개하며 마치겠습니다. 1. Scaling of DRAM & Capacitor structure DRAM은 위 사진과 같은 구조를 가집니다. DRAM은 대표적인 비휘발성 메모리로, 국내를 넘어 세계.. 2025. 10. 1. [반공공] Etching (식각 공정) 안녕하세요. 오늘은 포토, 증착과 함께 반도체 제조 메인 공정 중 하나로 꼽히는 Etching, 식각 공정에 대해 공부해보고자 합니다.식각의 종류 중 advanced 기술인 ALE에 대해서는 아래 첨부해둔 지난 포스팅에서 확인해볼 수 있습니다.[반심공] ALE_Atomic Layer Etching(원자층 식각 공정) [반심공] ALE_Atomic Layer Etching(원자층 식각 공정)안녕하세요. 지난 반심공 포스트에서는 ALD와 ASD 기술에 대해 배워보았습니다. 이번 시간에는 원자층 식각, ALE에 대해 배워 보겠습니다. ALE를 이해할 때는 ALD에 대한 이해가 수반되면 조금 더 용semiconprocess.tistory.com[반심공] ALD+ALE 기술을 통한 핀홀 해결 +박막 생성 메커니즘.. 2025. 9. 22. [반심공] ALD+ALE 기술을 통한 핀홀 해결 +박막 생성 메커니즘 안녕하세요. 이번 포스팅에서는 지난 포스팅들을 통해 배운 기술들을 적용해서 pinhole(핀홀) 이슈를 완화한 논문을 공부해보겠습니다. ALD, ALE가 익숙하지 않거나, growth etch-back 기술을 처음 들어보시는 분들은 아래 링크를 통해 읽고 오시면 조금 더 이해에 도움이 되겠습니다. 1. ALD 복습하기[반심공] ALD_Atomic Layer Deposition(원자층 증착 공정) [반심공] ALD_Atomic Layer Deposition(원자층 증착 공정)안녕하세요. 오늘은 반도체 8대 공정 중에서도 기본에서 나아간 심화공정을 다뤄보겠습니다.처음 소개해드릴 심화 공정은 ALD, 원자층 증착 공정입니다. ALD와 ALE에 대한 내용은 포스팅을 추가하semiconprocess.tistory.. 2025. 8. 31. [반심공] ALE_Atomic Layer Etching(원자층 식각 공정) 안녕하세요. 지난 반심공 포스트에서는 ALD와 ASD 기술에 대해 배워보았습니다. 이번 시간에는 원자층 식각, ALE에 대해 배워 보겠습니다. ALE를 이해할 때는 ALD에 대한 이해가 수반되면 조금 더 용이하고, ASD 기술 포스팅에서는 ALD와 ALE를 함께 적용한 케이스를 알아보았으므로 두 포스팅을 전후로 읽으면 조금 더 학습에 도움이 될 것입니다. [반심공] ALD_Atomic Layer Deposition(원자층 증착 공정) [반심공] ALD_Atomic Layer Deposition(원자층 증착 공정)안녕하세요. 오늘은 반도체 8대 공정 중에서도 기본에서 나아간 심화공정을 다뤄보겠습니다.처음 소개해드릴 심화 공정은 ALD, 원자층 증착 공정입니다. ALD와 ALE에 대한 내용은 포스팅을 추가하.. 2025. 8. 26. [반심공] ASD_Area Selective Deposition(영역선택적 증착) 안녕하세요. 이번 시간에는 ALD, ALE 기술이 급부상하며 함께 떠오른 ASD에 대해 공부해보겠습니다.지난 시간에 배운 ALD에 대해서 궁금하신 분은 아래 링크를 타고 ALD에 대해 읽어보고 오시면 이해에 더욱 도움이 되겠습니다. https://semiconprocess.tistory.com/6 [반심공] ALD_Atomic Layer Deposition(원자층 증착 공정)안녕하세요. 오늘은 반도체 8대 공정 중에서도 기본에서 나아간 심화공정을 다뤄보겠습니다.처음 소개해드릴 심화 공정은 ALD, 원자층 증착 공정입니다. ALD와 ALE에 대한 내용은 포스팅을 추가하semiconprocess.tistory.com ContentsWhat is ASD?ASD in MPT(Multi Patterning Te.. 2025. 8. 19. 이전 1 다음 반응형
