반응형 HBM1 [반심공] DRAM의 MIM 커패시터, ZAZ구조 안녕하세요. 오늘은 간만에 반도체 심화공정 공부하기 컨텐츠를 다루고자 합니다. 그중에 DRAM에서의 Capacitor를 이루는 부분에서 ALD와 ALE가 어떻게 사용되는지 공부해보겠습니다. Contents Scaling of DRAM & Capacitor structureHigh-K: ZAZ, ZAZAZ StructurePaper목차는 다음과 같습니다. 미세화되는 메모리와 커패시터의 구조를 함께 살펴보고, 절연체로서 ZAZ와 ZAZAZ 구조가 무엇인지 공부해본 뒤, 이번 포스팅의 레퍼런스가 된 논문의 내용을 소개하며 마치겠습니다. 1. Scaling of DRAM & Capacitor structure DRAM은 위 사진과 같은 구조를 가집니다. DRAM은 대표적인 비휘발성 메모리로, 국내를 넘어 세계.. 2025. 10. 1. 이전 1 다음 반응형
