반응형 KLA1 [반장공] Mass Flow Controller_1 안녕하세요. 오늘부터는 틈틈이 반도체를 높은 효율, 퀄리티로 만들 수 있게끔 하는 장비 및 부품에 대해 포스팅 해보겠습니다.가장 첫 시간으로 MFC라고 불리는 Mass Flow Controller, 유량제어기를 공부해보겠습니다. ContentsWhat is Mass Flow?Mass Flow MeterComponents of MFCGas Type먼저 유량에 대해 정의하고, MFC의 일부분이자 독립적인 기기로도 존재하는 MFM의 원리를 보겠습니다.그 후 MFC 요소를 알아본 후 마지막으로 MFC에 부여된 gas type에 대해 공부해보겠습니다. 1. What is Mass Flow? Mass Flow, 유량은 일정 시간동안 tube나 channel을 통과하는 물질의 양으로 정의됩니다.그림에서 볼 수 있듯이.. 2026. 2. 23. 이전 1 다음 반응형
