반응형 Oxidation1 [반공공] Thermal Process (열공정) 안녕하세요. 긴 시험기간을 마치고 간만에 포스팅을 합니다. 이번 학기에 학교에서 반도체공정 과목을 이수하는 만큼, 당분간 포스팅에는 중간고사 범위였던 공정들을 복습하는 개념으로 함께 소개해드리려 합니다. 그 첫 시간은 열공정에 대한 글로 소개해드립니다. ContentsWhat is TP?HardwareOxide먼저 열공정이란 무엇인지 간단한 정의를 살펴보고, 열공정에 쓰이는 장비들의 종류에 대해 알아봅니다. 그리고 고온을 활용하는 산화 공정으로 기른 막들의 용도를 소개하며 마치겠습니다. 1. What is TP?Thermal Process는 말 그대로 열공정 혹은 고온공정이라고 부릅니다. Al 메탈의 녹는 점이 650도 정도인데, 열공정은 그보다 높은 670도~700도 같은 고온에서 하는 공정을 일컫습니.. 2025. 11. 1. 이전 1 다음 반응형
