반응형 cmp1 [반공공] Metallization (금속배선공정) 안녕하세요. 반공공에서 다룰 단위공정도 어느새 막바지에 다와가네요. 이번 시간에는 금속 배선 공정에 대해 알아보겠습니다. ContentsAluminum & Poly SiliconTitaniumTungstenCopper오늘은 금속의 종류에 따른 용도와 문제점, 특징 등을 다뤄볼 예정입니다. 들어가기 앞서, 금속배선 공정은 wafer 위에 금속 도체들을 얇게 올리는 과정입니다. 이렇게 증착된 금속들은 다양한 용도로활용되지만, 대표적으로 배선(Interconnection), 게이트 및 전극 (Gate and Electrode)로 널리 사용됩니다. 1. Aluminum & Poly Silicon 가장 먼저 알루미늄과 폴리실리콘입니다. 알루미늄은 전통적으로 gate와 electrode로써의 역할을 수행해오다가 .. 2025. 11. 8. 이전 1 다음 반응형
